所謂光柵，簡(jiǎn)單地說，就是由大量等寬等間距的平行狹縫所組成的光學(xué)器件。光柵傳感器是利用光柵的莫爾條紋現(xiàn)象實(shí)現(xiàn)幾何量測(cè)量的裝置。光柵傳感器以其高精度、高分辨率和大動(dòng)態(tài)范圍的優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于靜態(tài)測(cè)量、動(dòng)態(tài)測(cè)量和自動(dòng)化等領(lǐng)域 。光柵式數(shù)字傳感器廣泛用于測(cè)量位移有關(guān)的非電物理量。
光柵式數(shù)字傳感器的分類：光柵是由很多等間距的透光縫隙和不透光的刻線均勻相間排列構(gòu)成的光電開關(guān)的光電器件。按其原理和用途，它又可分為物理光柵和計(jì)量光柵。物理光柵是利用光的衍射現(xiàn)象制造的，主要用于光亦分析和光波長(zhǎng)等量的測(cè)量。講師光柵主要利用莫爾現(xiàn)象，測(cè)量方法長(zhǎng)度、角度、速度、加速度、振動(dòng)動(dòng)等物理量。計(jì)量光柵按應(yīng)用范圍不同又有透射光柵和反射光柵兩種，具體制作者時(shí)又可制作者成線位移的長(zhǎng)光柵和角位移的圓光柵。按光柵的表面結(jié)構(gòu)，又可分為幅值光柵和相位閃輝光柵等。幅柵是利用照相復(fù)制工藝加工使柵線與縫隙為黑白相間結(jié)構(gòu)，故又稱為黑白光柵。相位光柵的橫斷面呈鋸齒狀，常用刻劃工藝加工。除了上述光柵外，目前還研制了激光全自習(xí)光柵和偏大振光柵等新型光柵。磁柵是一種磁電轉(zhuǎn)換器，其工作原理類似錄音帶。 |
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