當(dāng)半導(dǎo)體應(yīng)變片受到外界應(yīng)力的作用時,其電阻率的變化與受到應(yīng)力的大小成正比。對于不同的半導(dǎo)體,壓阻系數(shù)和彈性模量都不一樣,所以靈敏度了不相同,但總的來說,壓阻式光電開關(guān)傳感器的靈敏系數(shù)大大高于金屬電阻應(yīng)變片的靈敏系數(shù),這是壓阻式光電開關(guān)傳感器的一個突出優(yōu)點。 壓阻式光電開關(guān)傳感器的材料一般半導(dǎo)體應(yīng)變片是沿所需的晶向?qū)⒐鑶尉w切成條形薄片,厚度約為0.05-0.08mm,在硅條兩端先真空鍍膜蒸發(fā)一層黃金,再用細(xì)金絲分別與兩電極焊接。硅條是感壓部分,基底起支撐和絕緣作用,采用膠膜材料,電極一般用康銅箔,外引線用鍍銀銅線。 |