接近開(kāi)關(guān)氣體傳感器按原理分類可分為五大類,具體詳細(xì)介紹如下:
半導(dǎo)體式:相關(guān)的特性是電阻式表面控制型,體控制型。非電阻式相關(guān)特性是金屬、半導(dǎo)體結(jié),優(yōu)點(diǎn)是原材料豐富,工藝成熟,信號(hào)處理簡(jiǎn)單。體積小,成本低,檢測(cè)氣體品種多,壽命長(zhǎng)。缺點(diǎn)是小于10-4微濃度檢測(cè)難,功耗大,選擇性差。
電化學(xué)式:相關(guān)特性為定電位電解、電流電解、伽伐尼電解、電量、離子電極、固體電解質(zhì),優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)氣體品種多,小于10-4微濃度檢測(cè),功耗低,選擇型好。缺點(diǎn)是結(jié)構(gòu)負(fù)責(zé),壽命短,信號(hào)處理復(fù)雜,成本高。
Saw式:相關(guān)特性是共振頻率,優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)品種多,小于10-4微濃度檢測(cè),功耗低,選擇性好。缺點(diǎn)是結(jié)構(gòu)復(fù)雜,信號(hào)處理復(fù)雜,成本高,受敏感膜影響大。
熱傳導(dǎo)式:相關(guān)特性是燃燒式,優(yōu)點(diǎn)是工藝成熟,信號(hào)處理簡(jiǎn)單,體積小,成本低,壽命長(zhǎng)。缺點(diǎn)是檢測(cè)品種少,抗干能擾力差,微濃度檢測(cè)難,功耗大,選擇性差。
光化學(xué)式:相關(guān)特性是光干涉式、紅外線吸收式、紫外線吸收式,優(yōu)點(diǎn)是精度高,選擇性好,壽命長(zhǎng)。缺點(diǎn)是投資大,工藝不成熟,信號(hào)處理復(fù)雜,體積大,成本高。 |