傳感器,英文名稱transducer,是一種檢測(cè)裝置,能感受到被測(cè)量的信息,并能將感受到的信息,按一定規(guī)律變換成為電信號(hào)或其他所需形式的信息輸出,以滿足信息的傳輸、處理、存儲(chǔ)、顯示、記錄和控制等要求。
按照制造工藝來(lái)分類的話:
集成傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上,例如現(xiàn)在大力發(fā)展的MEMS傳感器。
薄膜傳感器則是通過(guò)沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí),同樣可將部分電路制造在此基板上。
厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進(jìn)行熱處理,使厚膜成形。
陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠、凝膠等)生產(chǎn)。完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后,已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。
厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。
選傳感器無(wú)非從靈敏度、頻率響應(yīng)、線性范圍、穩(wěn)定性和精度這幾個(gè)方面去考量,其中穩(wěn)定性與基板材質(zhì)有很大關(guān)系,前面幾項(xiàng)主要看制造工藝,從穩(wěn)定性來(lái)講的話,那么適合傳感器的非陶瓷電路板莫屬。陶瓷材料的穩(wěn)定性能相當(dāng)出色,只要制造的工藝技術(shù)能過(guò)關(guān),陶瓷電路板無(wú)疑要比其他PCB好用很多。
陶瓷電路板現(xiàn)在好的制造工藝,應(yīng)該就是LAM技術(shù)了,激光快速活化金屬化技術(shù)(Laser Activation Metallization,簡(jiǎn)稱LAM技術(shù)),利用高能激光束將陶瓷和金屬離子態(tài)化,使二者牢固結(jié)合。
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