氣敏傳感器的應用主要有:一氧化碳氣體的檢測、瓦斯氣體的檢測、煤氣的檢測、氟利昂勠11、R12蘺檢測、呼氣中乙醇的檢測、人體口腔口臭的檢測等等。它將氣體種類及其與濃度有關的信息轉(zhuǎn)換成電信號根據(jù)這些電信號的強弱就可以獲得與待測氣體在環(huán)境中的存在情況有關的信息從而可以進行檢測、監(jiān)控、報警還可以通過接口電路與計算機組成自動檢測、控制和報警系統(tǒng)。 由于氣體種類繁多, 性質(zhì)各不相同不可能用一種傳感器檢測所有類別的氣體因此能實現(xiàn)氣-電轉(zhuǎn)換的傳感器種類很多按構成氣敏傳感器材料可分為半導體和非半導體兩大類。目前實際使用多的是半導體氣敏傳感器因此本文主要講述半導體氣敏元件的有關原理及應用。
半導體氣敏傳感器是利用待測氣體與半導體表面接觸時,產(chǎn)生的電導率等物理性質(zhì)變化來檢測氣體的。 按照半導體與氣體相互作用時產(chǎn)生的變化只限于半導體表面或深入到半導體內(nèi)部,可分為表面控制型和體控制型,前者半導體表面吸附的氣體與半導體間發(fā)生電子接受,結果使半導體的電導率等物理性質(zhì)發(fā)生變化,但內(nèi)部化學組成不變,后者半導體與氣體的反應,使半導體內(nèi)部組成發(fā)生變化而使電導率變化。 按照半導體變化的物理特性,又可分為電阻型和非電阻型,電阻型半導體氣敏元件是利用敏感材料接觸氣體時,其阻值變化來檢測氣體的成分或濃度廠半導體式氣敏元件則是根據(jù)氣體的吸附和反應,使其某些關系特性發(fā)生改變無對氣體進行直接或間接的檢測,如二極管伏安特性和場效應晶體管的閾值電壓變化來檢測被測氣體的。
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